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        自動紫外光刻機

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        設備名稱:自動紫外光刻機   品牌型號 SUSS MA6

        設備用途
        光刻機發出的紫外光通過具有特定圖形結構的掩膜版對樣片曝光,然后通過顯影將掩膜版上的圖形結構轉移到樣片表面的光刻膠上。

        主要技術指標:
        可選波長:365nm 405nm 436nm
        可加工尺寸:2inch 3inch 4inch晶圓和≥1cm2碎片
        極限分辨率:0.8um
        正面套刻精度:≤0.25um
        曝光穩定性:±1%
        曝光模式:真空接觸、硬接觸、軟接觸和泛曝光

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        青島翼晨鐳碩科技有限公司

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